半导体全自动单臂式超声波清洗烘干设备

半导体全自动单臂式超声波清洗烘干设备
超声波清洗1（40khz)-超声波清洗2（40khz)-旋流漂洗—超声波漂洗--热风干燥。设备主要部件由，单臂机械手，伺服横移驱动系统，伺服提升驱动系统，气动手指抓取系统，气动上下料系统，循环过滤系统，热风干燥系统，智能PLC控制系统等组成，超纯水制取系统等组成。该设备的特点是清洁度高，自动化程度高，解决了客户清洗残留严重，合格率低的问题。
可根据产品工艺制定清洗方案及设备